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一文搞懂高分辨率臺式掃描電鏡,小白也能看懂

 更新時(shí)間:2024-06-20 點(diǎn)擊量:100
  高分辨率臺式掃描電鏡的工作原理基于物理光學(xué)的成像原理。從電子槍中發(fā)射出的電子經(jīng)過(guò)一系列電磁透鏡被聚焦成極細的電子束,這個(gè)電子束在的電磁透鏡上方的雙偏轉線(xiàn)圈的驅動(dòng)下,在樣品表面進(jìn)行柵網(wǎng)狀掃描。
 
  當電子束打在樣品上時(shí),會(huì )產(chǎn)生各種信號電子,包括二次電子、背散射電子、吸收電子、透過(guò)電子、特征X射線(xiàn)等。這些信號電子被相應的探測器接收,并被轉換成電信號,然后通過(guò)電信號處理器進(jìn)行處理,形成圖像。
 
  二次電子主要來(lái)自樣品表面5-10納米的區域,能量較低,通常用于反映樣品表面的形貌;背散射電子來(lái)自樣品較深處,能量較高,反映的是原子序數的信息,通常用于反映樣品的化學(xué)成分。
 
  高分辨率臺式掃描電鏡的維護保養方法:
 
  1.密封圈的清潔與潤滑
 
  -定期清潔:每隔三個(gè)月使用無(wú)塵布蘸取少量酒精輕輕擦拭密封圈,直至無(wú)塵布上無(wú)黑色污漬為止。
 
  -涂覆硅脂:清潔后,在密封圈上均勻涂覆一層薄薄的高真空硅脂,以保持其良好的密封性能。
 
  2.燈絲的維護與更換
 
  -觀(guān)察飽和程度:經(jīng)常觀(guān)察燈絲的飽和程度,當發(fā)現燈絲電流不在飽和狀態(tài)時(shí),適當手動(dòng)調整燈絲電流,使燈絲處于飽和狀態(tài)。
 
  -半自動(dòng)調整:選擇半自動(dòng)調整電子槍?zhuān)苊馊詣?dòng)調整時(shí)燈絲電流過(guò)大,消耗燈絲,影響壽命。
 
  3.環(huán)境條件的控制
 
  -溫度與濕度:實(shí)驗室環(huán)境溫度應長(cháng)期維持在20~24°C之間,濕度保持在50%以下。
 
  -室內清潔:保持室內清潔衛生,嚴禁在室內喝水、飲食,以避免污染和損害設備。
 
  4.日常檢查與維護
 
  -檢查隔夜真空:每日開(kāi)機時(shí),檢查系統的隔夜真空情況,隔夜真空值以保持在150Pa以?xún)葹榧选?br /> 
  -樣品腔室密封:一旦隔夜真空值超過(guò)250Pa,需要立即檢查樣品腔室是否存在密封問(wèn)題。
 
  5.電子槍和鏡筒的維護
 
  -防塵措施:在更換燈絲或清洗光闌時(shí),使用無(wú)塵布遮檔好鏡筒和電子槍敞口區域,防止粉塵落入。
 
  -保持高真空度:隨時(shí)注意鏡筒是否存在微小泄露,并保證各級泵的性能,必要時(shí)更換泵油。
 
  6.樣品的準備
 
  -樣品干燥:待觀(guān)察樣品應盡量干燥、無(wú)揮發(fā)性物質(zhì),以避免影響鏡筒的真空度和腐蝕燈絲。
高分辨率臺式掃描電鏡

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